主要技术参数:
工作温度:1200℃
炉管长度:1200mm
炉管直径:50mmm
炉管厚度:5mm
密封方式:不锈钢真空法兰
真空度:1.0X10E-3Pa
流量计类型:质量流量计
气体流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
载料舟长度:200mm
移动速度:160mm/60min(可根据实际要求调节)
温度控制:50段可编程控制
控制系统:全电脑程序控制
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稀有金属区域提纯炉
详细信息 该区域提纯炉主要由:高温梯度炉、真空炉管、真空法兰、电子真空计、质量流量计、分子泵组、直线导轨、速度控制器等重要部件构成。广泛用于半导体锗、硅提纯还可以用于金属、金属间化合物提纯。
主要技术参数: 工作温度:1200℃ 炉管长度:1200mm 炉管直径:50mmm 炉管厚度:5mm 密封方式:不锈钢真空法兰 真空度:1.0X10E-3Pa 流量计类型:质量流量计 气体流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM 载料舟长度:200mm 移动速度:160mm/60min(可根据实际要求调节) 温度控制:50段可编程控制 控制系统:全电脑程序控制 |